The course will introduce the details of epitaxial growth techniques and thin-film characterization for the fabrication of semiconductor nanostructures. Direct nanostructure growth, optoelectronic devices, and their integration will also be covered during the course.
In particular:
- Substrate fabrication and characterization
- Introduction to epitaxy
- Epitaxy of semiconductors
- Major growth techniques (MOVPE, MBE, LPE)
- Epitaxy of Semiconductor Quantum Dots by Droplet Epitaxy
Course Syllabus
Titolo
Nanostrutture epitassiali a semiconduttore: scienza dei material e dispositivi
Docente(i)
Prof. Stefano Sanguinetti
Lingua
Inglese
Breve descrizione
Il corso introdurrà i dettagli delle tecniche di crescita epitassiale e della caratterizzazione dei film sottili per la fabbricazione di nanostrutture semiconduttori. Durante il corso saranno anche trattati la crescita diretta delle nanostrutture, i dispositivi optoelettronici e la loro integrazione.
In particolare:
Fabbricazione e caratterizzazione dei substrati
Introduzione all'epitassia
Epitassia dei semiconduttori
Principali tecniche di crescita (MOVPE, MBE, LPE)
Epitassia di punti quantici semiconduttori mediante epitassia a goccia.
CFU / Ore
1CFU/8 ore
Periodo di erogazione
17 Marzo/25 Marzo
Sustainable Development Goals
Title
Epitaxial semiconductor nanostructures: Materials science and devices
Teacher(s)
Prof. Stefano Sanguinetti
Language
English
Short description
The course will introduce the details of epitaxial growth techniques and thin-film characterization for the fabrication of semiconductor nanostructures. Direct nanostructure growth, optoelectronic devices, and their integration will also be covered during the course.
In particular:
- Substrate fabrication and characterization
- Introduction to epitaxy
- Epitaxy of semiconductors
- Major growth techniques (MOVPE, MBE, LPE)
- Epitaxy of Semiconductor Quantum Dots by Droplet Epitaxy
CFU / Hours
1 CFU/8 hours
Teaching period
March 17th/ March 25th